半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高公测整套搭配涉重废液——MVR强硬循坏零排顶目
建设项目图片背景
半导中档公测产品,面积150万立方/天,是首位半导公测生活配套涉重生产生产废水零排产品。公测各个环节的镀镍、镀铜、引线前端框架的清洗会生产含镍含铜生产生产废水,小区特殊要求"无尾水外排",产水整体造纸废水处理于产线。
水质量特点与薄弱环节
废气以含镍侧重于(浓硫酸浓度10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH起伏较大大(2–12),另外还有光刻胶残余的多量生物碳物。公测厂基地紧,要外理设备占地面积小;零排也就是说着浓水不能够清运越来越多,必要本地网汽化晶体开环。
净化处理工学院艺行车路线
整体的走"分质分类整理 → 预加工处理除杂 → 化学式石雕文化沉淀除镍 → 过虑 → UF+多级RO → MVR硬性不断循环减压蒸馏 → 冷疑水使用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢氧化反应的钠出现Ni(OH)₂沉淀物,再加上混炼钠深浅收集多余镍(混炼镍Ksp比氢氧化反应的镍更小,就可以把镍压到0.1毫克/升左右);
放置水流经多材质净化+门卫净化后进UF,再进考试内容一级RO,产水直接性回产线洁净;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR强行无限重复蒸馏器,强行无限重复能扛高含盐结渣,蒸馏器再带迅雷在线洗,很容易堵;
MVR冷疑水赶回回收利用养鱼池,化掉残液委外填埋或作危险废物处治,整体园区无固体外排。
主要设配缺点表明
MVR強制反复往复比起来一般降膜蒸馏掉,反复往复空气流速高、换热面不方便结镍盐/碳酸盐垢,适公测一种"的水量并不严重但饮用水质杂"的场面;一体机化撬装规划拆迁赔偿比老式蒸馏掉塘+多效蒸馏掉方案格式小60%之上;有害气体侧相互配套微生物滤池,把调控池和厌氧颗粒污泥间的有害气体回收利用后溶解成CO₂和水,尽量避免公测厂紧挨着办公室区的异味重匿名举报。
除理使用效果与经济效益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《塑料电镀感染物尾气排放量标》表三;全都150m³米/天产水使用于公测产线清理,混用等量新鲜松茸水;危废处理(化掉残液+活性污泥)量比过去"放置+尾气排放量"模式英文减约70%。对富士康侧,公测业务绿色环保许可卡点被揍通;