该厂为89英寸晶圆种植线整套搭配的超去离子水操作系统,定期所产生含硅污水150吨。污水里虽无高价属,但硅量高易水垢,且电阻值率需到达18MΩ·cm这样才能回收。改变整理工学艺未能满足需要新出台的《光学工农业水严重污染物质尾气排放量规则规则》(GB39731-2020)相当尾气排放量规则标准值。
污水材质特色
主要的污染破坏物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒级0.1-1μm)
特殊性追求
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
水污染特质
:低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物状态僵化
工作工序程序流程
去创新应用"梯级膜拆分+电去化合物"女子组合加工过程:
微滤预处置
:1μm陶瓷厂家膜手机拦截大粒状硅,通量保护80LMH
铝离子交易光敏树脂
:D201大孔树脂胶记忆性粘附硅酸分子式
两级RO体系
:第一点段再利用率60%,第二步段选取高脱硼膜电子器件
EDI电去铁离子
:工作电流硬度2A/m²,持续性快速清理的残留物铁离子
UV紫外线除臭
:254nm太阳光的太阳光线残留量40mJ/cm²
技艺薄弱环节
规划设计专业化阻硅剂(有机质胺类组合物),延迟膜破坏周期怎么算3倍
EDI输出模块的创新流道设置,硅我们要除率加强至99.8%
高清在线硅介绍仪(侧量範圍0.1-500μg/L)做到精准脱贫管控
作业实效
经其次方加测:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼量从8μg/L高于0.3μg/L
机系统收售率从原40%发展至68%
膜换个周期性减少至5年,年自动运行人工成本降底35%