该晶圆制造商厂最靠近豫东东北部,通常制造8英尺半导体技术晶圆,每日污废水 排出基准量约800吨。致使制造环节中选用大量的氢氧化钠完成晶圆蚀刻,影响污废水 中氟化物溶度高达hg200-300mg/L,远超国家的排出基准基准(10mg/L一些)。
废渣组成及由来
废水处理主要的原于三基本原则:
晶圆蚀刻加工过程
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及大量血本属
化学上的设备打蜡 (CMP)生活污水
:含微米级硅科粒、有机化学络合剂
系统擦拭废污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等充分物
除理工艺设备步骤流程
利用"催化沉定+沥青混凝土沉定+深层脱水"三阶段补救系统性:
一层外理
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,行成氟化钙沉淀出的,氟化物快速清理率达85%
二次处理
:加上PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),清除固体态环保问题物
三阶段办理
:能够多物质滤器器和抗逆性炭气体吸附,满水后氟化物质量浓度固定在8mg/L以內
关键的设配分为:pH自己调低系统的、斜管放置池、板框设备(厌氧颗粒污泥脱水烘干)。
决定性疗效
的项目运作十年检测数据资料显视:
氟化物评均渗透压:7.2mg/L(不超国家地区标淮)
COD清掉率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年回收合理利用氟化钙副设备约150吨,做到资源量化合理利用